[发明专利]一种靶材组件及其制备方法有效
| 申请号： | 201410001378.3 | 申请日： | 2014-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN103726025A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈俊杰;黄威智;方家芳 | 申请（专利权）人： | 昆山全亚冠环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/00;B23K1/20 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;汪庆朋 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种靶材组件及其制备方法，靶材组件包括背板和靶材，背板的焊合表面设有低熔点的背板焊料层，靶材的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的靶材焊料层；背板焊料层与靶材焊料层软焊接。靶材组件的制备方法，包括在背板的焊合表面涂覆背板焊料层，并加热背板焊料层使其成为熔融状态；在靶材的焊合表面用砂纸打磨；在靶材的砂纸打磨表面利用等离子喷涂方法喷涂等离子喷涂界面层；在确定无等离子喷涂界面层脱落后，在等离子喷涂界面层上涂覆靶材焊料层，并加热靶材焊料层使其成为熔融状态；将背板上熔融状态的背板焊料层与靶材上熔融状态的靶材焊料层进行软焊接合。使得靶材组件具有较佳的接合附着能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件，包括背板（1）和靶材（5），其特征在于，所述背板（1）的焊合表面设有低熔点的背板焊料层（2），所述靶材（5）的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层（4）和低熔点的靶材焊料层（3）；所述背板焊料层（2）与靶材焊料层（3）软焊接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山全亚冠环保科技有限公司，未经昆山全亚冠环保科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410001378.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：绣花机机头用双针杆驱动装置
- 下一篇：绣花机机头用同步压脚装置
- 同类专利
- 专利分类
