[发明专利]一种紫外波段的高像质投影光学系统有效
| 申请号： | 201410004957.3 | 申请日： | 2014-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103698885A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/18 | 分类号： | G02B27/18;G02B27/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 孟卜娟 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种紫外波段的高像质投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，从光束入射方向依次排布透射组1具有正光焦度，透射组2具有负光焦度，透射组3具有正光焦度，透射组4具有负光焦度，透射组5具有负光焦度，透射组6具有正光焦度，透射组7具有正光焦度，本发明的紫外波段的高像质投影光学系统具有高像质，结构紧凑等优点，可将将物平面的图像缩小0.25倍成像到像平面内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 波段 高像质 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向依次包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，所有透射组均处于同一光轴，其特征在于，透射组1具有正光焦度，透射组2具有负光焦度，透射组3具有正光焦度，透射组4具有负光焦度，透射组5具有负光焦度，透射组6具有正光焦度，透射组7具有正光焦度；透射组1包括第一平板保护窗口（1）、第一正透镜（2）、第一负透镜（3）；透射组2包括第二负透镜（4）、第三负透镜（5）；透射组3包括第二正透镜（6）、第三正透镜（7）、第四正透镜（8）；透射组4包括第五正透镜（9）、第四负透镜（10）；透射组5包括第五负透镜（11）、第六负透镜（12）、第六正透镜（13）、第七正透镜（14）、第八正透镜（15）；透射组6包括第七负透镜（16）、第九正透镜（17）；透射组7包括第十正透镜（18）、第十一正透镜（19）、第八负透镜（20）、第十二正透镜（21）、第十三正透镜（22）、第二平板保护窗口（23）和像面（24）。
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