[发明专利]具有纳米结构材料的超高真空低温泵装置有效
| 申请号： | 201410004965.8 | 申请日： | 2014-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN104564597B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 苏伦德拉·巴布·阿南塔洛曼;杨文成;高宗恩;卢一斌;秦威 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B39/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了具有纳米结构材料的超高真空低温泵装置。本发明的低温泵装置包括纳米结构材料以实现超高真空度。纳米结构材料可以与吸附材料或者固定粘合层混合，固定粘合层用于固定吸附材料。纳米结构材料的良好的热导性和吸附性能有助于降低工作温度并且延长低温泵的再生周期。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 纳米 结构 材料 超高 真空 低温泵 装置 | ||
【主权项】：
一种低温泵系统，包括：罐，具有连接至真空室的法兰；布置在所述罐中的冷镦机；低温叶片阵列，布置在所述罐内并围绕所述冷镦机；固定粘合层，位于所述低温叶片阵列的叶片上；以及吸附材料，位于所述固定粘合层上，所述吸附材料和所述固定粘合层中的至少固定粘合层包括碳纳米管材料。
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