[发明专利]包括用于产生流体射流的喷嘴的半导体丝锯无效
| 申请号： | 201410005746.1 | 申请日： | 2014-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN104552627A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | D·克里泰格尼;S·苏比耶勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种半导体丝锯，包括：支持件，所述支持件用于保持半导体工件；丝线导向器，所述丝线导向器用于形成丝网，所述丝网用于锯切所述工件；喷嘴，所述喷嘴用于产生流体射流，所述流体射流可引导到所述丝网。所述喷嘴包括出口管，所述出口管具有宽度和深度。所述深度和所述宽度的比率大于3.5，和/或所述出口管包括多个表面部分以在切削液中提供剪切应力。所述可选的表面部分设置在所述出口管的面积剖面的内部区域中。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 用于 产生 流体 射流 喷嘴 半导体 | ||
【主权项】：
一种半导体丝锯(1)，包括：支持件(150)，所述支持件(150)用于保持半导体工件；丝线导向器(160)，所述丝线导向器(160)用于形成丝网(170)，所述丝网(170)用于锯切所述工件；喷嘴(100)，所述喷嘴(100)用于产生流体射流(190)，所述流体射流(190)可引导到所述丝网(170)处，其特征在于：所述喷嘴(100)包括出口管(112)，所述出口管(112)具有宽度(202)和深度(203)，其中：所述出口管(112)的所述宽度(202)和长度(201)与所述出口管(112)的面积剖面(250)相符；其中：(a)所述深度和所述宽度的比率大于3.5；和/或(b)所述出口管(112)进一步包括多个表面部分(310)，所述表面部分(310)用于在切削液中提供剪切应力，其中，所述表面部分(310)设置在所述出口管(112)的所述面积剖面(250)的内部区域中。
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