[发明专利]利用微结构形成表面电浆的方法有效
申请号: | 201410006808.0 | 申请日: | 2014-01-07 |
公开(公告)号: | CN104576873B | 公开(公告)日: | 2017-07-14 |
发明(设计)人: | 宗成圣;庄师豪 | 申请(专利权)人: | 宗成圣 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人: | 王玉双,鲍俊萍 |
地址: | 中国台湾南投县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种利用微结构形成表面电浆的方法,是于取得一基材体后,以一携带物质携带多个纳米金属结构粒子于该基材体上以自组装方式形成一微结构,其中,该微结构是由该些纳米金属结构粒子以选自于由非连续面以及部分连续面的方式所构成。因此,借由自组装方式形成非连续面及部分连续面的微结构,而可作为表面电浆,以避免使用化学气相沉积等高成本工艺方式,达到大量降低制作成本以及制作时间的目的。除此之外,本发明亦打破表面电浆波的结构设计限制,进一步提升表面电浆波的产生效果。 | ||
搜索关键词: | 利用 微结构 形成 表面 方法 | ||
【主权项】:
一种利用微结构形成表面电浆的方法,其特征在于,包含有以下步骤:S1:取得一基材体;S2:以一携带物质携带多个纳米金属结构粒子于该基材体上以自组装方式形成一微结构,其中,该微结构是由该纳米金属结构粒子以选自于由非连续面以及部分连续面的方式所构成;该携带物质为挥发性的液体,该纳米金属结构粒子于该携带物质中均匀分散,且该步骤S2中更具有以下步骤:S21:以选自于由旋转涂布、喷涂、点滴涂布及浸泡所组成的群组的方式将该携带物质及该纳米金属结构粒子形成于该基材体上;S22:该纳米金属结构粒子相互之间于该携带物质中移动,而以自组装方式形成多个二维六角最密结构;及S23:进行烘干,使该携带物质逐渐挥发,而该二维六角最密结构层层堆叠形成一作为部分连续面构成微结构的金属粒子堆叠膜层;以及S3:形成一第一介电质层于该金属粒子堆叠膜层远离该基材体的一侧,该金属粒子堆叠膜层中的该纳米金属结构粒子借由吸附或扩散方式进入该第一介电质层中,而形成一第一粒子悬浮层。
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