[发明专利]光刻胶的制备装置及制备方法无效
| 申请号： | 201410008784.2 | 申请日： | 2014-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN103728838A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 石洪菲;周岳亮;王灿;金奎娟;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光刻胶的制备装置及制备方法，光刻胶的制备装置包括：金属纳米颗粒产生设备，用于产生金属纳米颗粒；以及回收设备，用于收集所述金属纳米颗粒并将其分散在液体中。本发明的光刻胶的制备装置能够制备金属纳米颗粒掺杂浓度高、且无需添加表面活性剂的光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶的制备装置，其特征在于，包括：金属纳米颗粒产生设备，用于产生金属纳米颗粒；回收设备，用于收集所述金属纳米颗粒并将其分散在液体中。
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