[发明专利]一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置

摘要

本发明涉及一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置，用于辅助将具有石英保护套的恒温区测量热偶从反应腔室底部工艺门的测量孔中垂直插入，其包括导向空心圆柱和导向空心圆柱座体；导向空心圆柱的内环直径大于石英保护套的外径，其高度小于恒温区测量热偶的最低轴向测量点；导向空心圆柱座体与导向空心圆柱一端外侧壁垂直固接；其中，在拉温过程开始前/后，导向空心圆柱从反应腔室底部工艺门的测量孔中插入/卸除，以及，导向空心圆柱座体通过第一连接结构可拆卸地固设在位于反应腔室底部的工艺门上。因此，本发明能精确地从反应腔室的底部垂直插入，满足恒温区测量装置热偶安装的精度要求，从而避免了因安装误差引起的热偶保护罩与炉体内壁或硅片发生接触的情况。

主权项

一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置，用于辅助将具有石英保护套的恒温区测量热偶从反应腔室底部工艺门的测量孔中垂直插入，其特征在于，包括：导向空心圆柱，其内环直径大于所述石英保护套的外径，其外径小于所述测量孔的内径，其高度小于所述恒温区测量热偶的最低轴向测量点；导向空心圆柱座体，与所述导向空心圆柱一端外侧壁垂直固接；其中，在拉温过程开始前，所述导向空心圆柱从所述反应腔室底部工艺门的测量孔中插入，所述导向空心圆柱座体通过连接结构可拆卸地固设在位于所述反应腔室底部的工艺门上，以及，所述恒温区测量热偶从导向空心圆柱靠近导向空心圆柱座体的端口，并由导向空心圆柱引导，垂直进入反应腔体；在拉温过程中，所述恒温区测量热偶在所述导向空心圆柱的导引下，进行多点温度的测量；在拉温过程后，所述恒温区测量热偶在导向空心圆柱的导引下，垂直拉出反应腔，随后，所述恒温区测量热偶定位装置与反应腔室底部的工艺门分离。