[发明专利]一种平行平面间距测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201410011230.8 | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN104776782B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 郭耸 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/14 | 分类号： | G01B5/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种平行平面间距测量装置，其特征在于包括底板、旋转台、定位支架和间距测量仪，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，通过所述间距测量仪测量所述双向调节测量装置探头间距离。本发明还公开了一种平行平面间距测量方法。本发明通过采用双向调节转台式平面测量装置提高了接触式测量精度并减少了测量耗时。测量探头连线与测量平面的夹角可以通过测量装置保证，测量接触力可以通过在线调节保证并一致性较好，可以应用到所有针对狭小空间的高精度接触式平行平面测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平行 平面 间距 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种平行平面间距测量装置，其特征在于：包括底板、旋转台、定位支架和高度规，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，所述双向调节测量装置包括两个一维微分头调节平移台和两个具有探头的测量仪，测量仪通过支撑杆固定在所述一维微分头调节平移台上；测量时使所述双向调节测量装置的探头分别与上测量平面的下表面和下测量平面的上表面接触，通过所述高度规测量所述双向调节测量装置探头间距离。
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