[发明专利]一种基于频谱面振幅调制的对准系统及对准信号处理方法有效
| 申请号： | 201410011374.3 | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN104777722B | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 于大维;潘炼东 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于频谱面振幅调制的对准系统，包括对准光束，用于照射对准标记，对准标记被照射后产生的反射光束带有对准标记信号A；成像物镜组，用于使所述对准标记信号A带有频谱信息，成为对准标记信号B；第一探测单元，用于探测所述对准标记信号B；其特征在于，还包括振幅调制器，用于使所述对准标记信号B带有振幅调制信息，成为对准标记信号C；第二探测单元，用于探测所述对准标记信号C；所述第一探测单元和第二探测单元获取各自信号后提供给处理器，供所述处理器计算，用于控制对准过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 频谱 振幅 调制 对准 系统 信号 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种基于频谱面振幅调制的对准系统，包括：对准光束，用于照射对准标记，对准标记被照射后产生的反射光束带有对准标记信号A；成像物镜组，用于使所述对准标记信号A带有频谱信息，成为对准标记信号B；第一探测单元，用于探测所述对准标记信号B；其特征在于，还包括：振幅调制器，用于使所述对准标记信号B带有振幅调制信息，成为对准标记信号C；第二探测单元，用于探测所述对准标记信号C；处理器，所述第一探测单元和第二探测单元获取各自信号后提供给处理器，供所述处理器计算，用于控制对准过程；所述第一探测单元将所述对准标记信号B传递给所述处理器，所述处理器对所述对准标记信号B进行分析后得出所述对准标记的类型及进行频谱振幅滤波的区域，所述处理器将分析结果发送给控制器，所述控制器发出控制信息给所述振幅调制器进行动作，对相应对准标记的频谱信息进行振幅调制，成为所述对准标记信号C。
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