[发明专利]一种去除多晶硅中硼的方法有效
| 申请号： | 201410012181.X | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103771419A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 罗立国;方红承;彭金鑫;母清林;周冰 | 申请（专利权）人： | 黑河合盛光伏科技有限公司;浙江合盛硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 沈自军 |
| 地址： | 164399 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种去除多晶硅中硼的方法，包括：将工业硅熔融后从反应坩埚顶部喷洒而下，将混合气体从下往上输送与熔融的工业硅接触反应，同时将反应后的气体及时抽去；所述混合气体由载气和氧化性气体组成，所述氧化性气体为氢气、水蒸气和氧气中的一种或多种。本发明改变传统直接将氧化性气体通入硅液的方法，而是将硅液通过喷洒自由落下，而氧化性气体从底部向上输送，两者在中间位置接触反应，增加接触面积，提高了硼等非挥发性元素的去除效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 多晶 硅中硼 方法 | ||
【主权项】：
一种去除多晶硅中硼的方法，包括：将工业硅熔融后从反应坩埚顶部喷洒而下，将混合气体从下往上输送与熔融的工业硅接触反应，同时将反应后的气体及时抽去；所述混合气体由载气和氧化性气体组成，所述氧化性气体为氢气、水蒸气和氧气中的一种或多种。
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