[发明专利]单岛多电极石英加速度计

摘要

本发明单岛多电极石英加速度计属于利用多电极石英力敏谐振器为敏感核心元件进行线加速度测量的领域。这种加速度计将加速运动时所产生的惯性力作用到多电极石英力敏谐振器，通过检测谐振器谐振频率的变化量得到对应的待测加速度。这种加速度计由底座、外壳、电路板、敏感元件及航空插座组成。底座与外壳构成密闭腔体，敏感元件安装在底座上，电路板安装在敏感元件上，插座安装在外壳上。敏感元件的单岛基座和密封罩紧密配合构成密封腔体，腔体内中央单岛的两则安装多电极石英力敏谐振器，单岛基座及中央单岛由一体加工而成，单岛基座上装有限位螺钉。该加速度计测量范围为10‑4g～102g，可用于飞行器、车辆、舰船等的检测控制系统。

主权项

一种单岛多电极石英加速度计，由起支撑作用的底座(1)与外壳(2)由螺钉(9)紧密配合装配成腔体，检测用的敏感元件(3)用螺钉(10)安装在底座 (1)上，电路板(5)由电路板支撑螺柱(6)支撑，并由电路板螺钉(7)紧固于敏感元件(3)上，航空插座(4)由螺钉(8)安装在外壳(2)上，电源及信号由电缆从航空插座(4)进出；敏感元件(3)由单岛基座(11)、中央单岛(14)、限位螺钉(12‑1、12‑2)、多电极力敏谐振器(13‑1、13‑2)及密封罩(16)构成；其敏感元件(3)的结构特征是：单岛基座(11)和密封罩(16)由密封螺钉(17)紧固构成密封腔体，腔体内有中央单岛(14)及两个多电极力敏谐振器(13‑1、13‑2)，单岛基座(11)与中央单岛(14)由一体加工而成，中央单岛(14)将敏感元件的腔体分为对称的左右两个小腔体，两个多电极力敏谐振器(13‑1、13‑2)对称地镶嵌在中央单岛(14)两侧的两个小腔体中，多电极力敏谐振器(13‑1、13‑2)的一边与中央单岛(14)中部的支撑平台(14‑2、14‑3)焊接，另一边与单岛基座(11)中部的支撑平台(11‑1、11‑2)焊接，单岛基座(11)上部的左右两端有限位螺钉(12‑1、12‑2)，限位螺钉(12‑1、12‑2)镶嵌在单岛基座(11)上部对应的限位螺母孔(11‑3、11‑4)内，并由紧定螺钉(15‑1、15‑2)紧定；其敏感元件(3)的多电极力敏谐振器(13‑1、13‑2)的结构特征是：多电极力敏谐振器(13‑1、13‑2)的基片为石英晶体圆薄片，同一个基片上的电极对数为两对或两对以上，电极位置在基片上的分布可以是对称分布或非对称分布。