[发明专利]一种PIND检测设备用合成传感器有效

专利信息
申请号: 201410014123.0 申请日: 2014-01-13
公开(公告)号: CN103728656A 公开(公告)日: 2014-04-16
发明(设计)人: 陈金豹;赵国强;戚乐;牛鹏飞;李超;郭亮;梁安生;姜楠;钱鑫;翟国富 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01V1/00 分类号: G01V1/00;G01H11/08
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 高媛
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种PIND检测设备用合成传感器,它涉及一种合成传感器。本发明为了解决现有多余物检测试验效率低、效果差,声发射传感器寿命短,电磁屏蔽线易损坏等问题。其包括声发射敏感元件1、敏感件腔体2、耦合载物台3、质量块6、加速度敏感元件7、固定底盖9、连接件10、柔性电路板11、接线柱固定台12和接线柱固定座13;声发射敏感元件1粘贴在耦合载物台3的背面且位于敏感件腔体2内部,敏感件腔体2与耦合载物台3为一体成形,连接件10将固定底盖9和柔性电路板11的一端紧固在敏感件腔体2上,接线柱13与柔性电路板11的另一端焊接。本发明用于PIND检测设备。
搜索关键词: 一种 pind 检测 备用 合成 传感器
【主权项】:
一种PIND检测设备用合成传感器,其特征在于,包括声发射敏感元件1、敏感件腔体2、耦合载物台3、质量块6、加速度敏感元件7、固定底盖9、连接件10、柔性电路板11、接线柱固定台12和接线柱固定座13;声发射敏感元件1粘贴在耦合载物台3的背面且位于敏感件腔体2内部,敏感件腔体2与耦合载物台3为一体成形,连接件10将固定底盖9和柔性电路板11的一端紧固在敏感件腔体2上,接线柱13与柔性电路板11的另一端焊接,接线柱固定座13和柔性电路板11固定在接线柱固定台12上,加速度敏感元件7和质量块6固定在固定底盖9上,质量块6设在加速度敏感元件1上部,固定底盖9底部设有用于固定合成传感器的螺纹孔;声发射敏感元件1通过导线与柔性电路板11相连以传导输出信号,导线穿过敏感件腔体2的开孔;声发射敏感元件1通过导线二24与加速度敏感元件7信号输出端相连以传导输出信号;加速度敏感元件7通过导线与柔性电路板11相连以传导输出信号,导线穿过固定底盖9的开孔。
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