[发明专利]一种用于产生低温等离子体的双极性脉冲电源在审
| 申请号： | 201410015231.X | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103795287A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 闫克平;冯卫强;刘振;黄逸凡 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H02M9/06 | 分类号： | H02M9/06;H05H1/24 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于产生低温等离子体的双极性脉冲电源，用于向产生低温等离子体的低温等离子体反应器供电，包括主电路和控制电路；所述主电路由三相整流滤波电路、IGBT变换电路和升压电路组成；所述控制电路由单片机控制电路、IGBT控制电路以及操作界面组成。三相交流电压经过整流滤波电路后变为稳定的直流电压，直流电压经过IGBT变换电路后转换为双极性脉冲电压，双极性脉冲电压经过升压电路后电压放大，并向低温等离子体反应器提供电能。本发明可以有效避免传统电源大部分能量在系统中的振荡损耗，从而可以有效提高反应器的能量注入，提高能量利用效率，减小电耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 产生 低温 等离子体 极性 脉冲 电源 | ||
【主权项】：
一种用于产生低温等离子体的双极性脉冲电源，用于向产生低温等离子体的低温等离子体反应器供电，其特征在于，所述的双极性脉冲电源包括主电路和控制电路；所述的主电路包括：三相整流滤波电路，用于将三相交流电压转换为稳定的直流电压；IGBT变换电路，用于将直流电压转化为脉冲电压；升压电路，输出端接有所述的低温等离子体反应器，并用于对所述的脉冲电压升压；所述的控制电路接入IGBT变换电路，并用于调节整流后的直流电压和IGBT变换电路的输出电压以及脉冲频率。
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