[发明专利]一种斜角入射微纳米薄膜沉积系统

摘要

本发明提供了一种斜角入射沉积系统，包括圆柱状的腔体，腔体的上方设有顶盖，腔体内由下至上依次设有电子束蒸发器、环形液态氮存储装置以及样品操作装置；所述电子束蒸发器由腔体外伸入腔体内，电子束蒸发器位于腔体内的端部上设置蒸发源材料；所述环形液态氮存储装置用于冷却操作装置，环形液态氮存储装置上设有液氮进管和液氮出管，液氮进管和液氮出管分别延伸出顶盖；环形液态氮存储装置中部设有气动快门，用于控制蒸发源材料与样品操作装置之间的通路。本发明两个轴向旋转运动以及沉积高度的调整，形成不同沉积角度，得到了多种形态的微纳米薄膜结构，很好解决了光学和电子刻蚀形成微纳米薄膜费用高、适用材料有限、制作时间较长的缺点。

主权项

一种斜角入射微纳米薄膜沉积系统，其特征在于，包括圆柱状的腔体，腔体的上方设有顶盖，腔体内由下至上依次设有电子束蒸发器、环形液态氮存储装置以及样品操作装置；所述电子束蒸发器由腔体外伸入腔体内，电子束蒸发器位于腔体内的端部上设置蒸发源材料；所述环形液态氮存储装置用于冷却操作装置，环形液态氮存储装置上设有液氮进管和液氮出管，液氮进管和液氮出管分别延伸出顶盖；环形液态氮存储装置中部设有气动快门，用于控制蒸发源材料与样品操作装置之间的通路；所述样品操作装置包括设置在法兰盘上的第一旋转装置和升降装置、与第一旋转装置连接的第二旋转装置，以及第二旋转装置下方的工作台；所述第一旋转装置包括穿过所述法兰盘的第一齿轮步进电机以及与第一齿轮步进电机连接的第一旋转轴；所述升降装置包括顶端设有水平齿轮的竖直螺纹轴，穿过所述法兰盘的升降摇杆、以及连接螺纹轴和所述第二旋转装置的升降连接杆；所述升降摇杆前端设有与所述竖直螺纹轴的水平齿轮啮合的齿槽，所述升降连接杆一端嵌套在所述竖直螺纹轴上，另一端连接所述第二旋转装置，所述竖直螺纹轴外设有与所述第一旋转轴连接的壳体，壳体上设有用于连接杆升降的槽；所述第二旋转装置包括第二齿轮步进电机以及与第二齿轮步进电机连接的第二旋转轴；第二旋转轴下方连接工作台；工作台包括与；第二旋转轴连接的金属壳，金属壳内由上至下设有热电偶和钨丝加热器，第二旋转轴通过连接杆连臂以及调节螺母连接样品台杆，样品台杆下方连接用于放置基底的样品台板，样品台板位于钨丝加热器下方。