[发明专利]一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法有效
| 申请号： | 201410017751.4 | 申请日： | 2014-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103882395A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张栋;汪爱英;柯培玲;孙丽丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法。该方法为：首先，采用PVD技术在工件表面沉积底层膜；然后，采用磁控溅射方法，以石墨为靶材，在底层膜表面溅射沉积类石墨层作为黑色膜；最后，进行拉丝处理，得到双色膜。与现有的金属碳化物等作为黑色膜相比，本发明将类石墨层作为黑色膜，其一方面与底层膜具有良好的结合力，另一方面与金属碳化物薄膜相比硬度较低且韧性好，从而易于与底层膜实现分层，通过拉丝处理得到双色膜，避免了黑色膜无法拉掉或者两层膜同时被拉掉的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 表面 pvd 色拉 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法，其特征是：首先，采用PVD技术在工件表面沉积底层膜；然后，采用磁控溅射方法，以石墨为靶材，在底层膜表面溅射沉积类石墨层作为黑色膜；最后，进行拉丝处理，得到双色膜。
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