[发明专利]一种金属材料表面先镀膜再渗氮的复合处理方法有效
申请号: | 201410018736.1 | 申请日: | 2014-01-16 |
公开(公告)号: | CN103805996A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 赵彦辉;于宝海;肖金泉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | C23C28/04 | 分类号: | C23C28/04;C23C14/06;C23C14/22;C23C8/36 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属于材料表面改性领域,具体为一种金属材料表面先镀膜再渗氮的复合处理方法,适用于刀具、模具、金属零部件的表面强化。首先采用磁控溅射或电弧离子镀在金属材料基体表面沉积一层氮化物薄膜,薄膜厚度为0.1~50微米;然后采用离子渗氮技术对镀膜表面进行离子渗氮处理,处理时间为0.5~10小时。从而,解决了先渗氮后镀膜复合处理过程中易出现黑色层所产生的膜基结合强度低等问题,通过先沉积一层薄膜、再经离子渗氮处理的镀膜-渗氮复合处理方法,获得的工件具有表面硬度高、耐磨性好、膜基结合力高、质量可靠和稳定等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属材料 表面 镀膜 再渗氮 复合 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种金属材料表面先镀膜再渗氮的复合处理方法,其特征在于,采用真空镀膜方法在金属材料表面先沉积一层氮化物薄膜,沉积薄膜后再经离子渗氮处理。
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