[发明专利]太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明涉及太阳能电池及其制造方法。方法的一种实施方式包括以下步骤在包含第一导电类型的杂质的半导体基板的背面形成包含与所述第一导电类型相反的第二导电类型的杂质的射极区域；在所述射极区域上形成包含所述第一导电类型的杂质的钝化层膏；在所述钝化层膏的第一局部区域上选择性地执行热处理以在所述射极区域的局部区域形成包含所述第一导电类型的杂质的背面场区域；在位于所述射极区域上的所述钝化层膏的第二局部区域和位于所述背面场区域的所述钝化层膏的第三局部区域中形成多个开口以形成钝化层；形成连接到所述射极区域的第一电极；以及形成连接到所述背面场区域的第二电极。

主权项

一种用于制造太阳能电池的方法，所述方法包括以下步骤：在包含第一导电类型的杂质的半导体基板的整个背面形成包含与所述第一导电类型相反的第二导电类型的杂质的射极区域；在所述射极区域上形成包含所述第一导电类型的杂质的钝化层膏，并且所述钝化层膏直接位于所述射极区域上；将激光光束照射到所述钝化层膏的第一局部区域上，在所述射极区域的局部区域形成包含所述第一导电类型的杂质的背面场区域；在位于所述射极区域上的所述钝化层膏的第二局部区域和位于所述背面场区域的所述钝化层膏的第三局部区域中形成多个开口以形成钝化层；形成第一电极，所述第一电极通过所述钝化层膏的第二局部区域中的所述多个开口连接到所述射极区域；以及形成第二电极，所述第二电极通过所述钝化层膏的第三局部区域中的所述多个开口连接到所述背面场区域。