[发明专利]以纳米TiO2为敏感膜的石英晶体微天平氨气传感器

摘要

一种以纳米TiO₂为敏感膜的石英晶体微天平氨气传感器的制备方法，以AT切型的8MHz晶振片为气体传感器的基底；将纳米TiO₂粉末与乙醇混合溶解得到TiO₂乙醇溶液；将晶振片固定于均胶机上，用胶头滴管向晶振片圆心滴加TiO₂乙醇溶液后使用匀胶机旋转镀膜，干燥后即可。本发明的优点是：该QCM氨气传感器以纳米TiO₂为敏感膜，具有可逆性且可完全实现氨气的吸附解吸；对10×10^-6-50×10^-6浓度氨气响应灵敏，响应时间均在10s以内；纳米TiO₂晶振片最大频差值与氨气浓度呈现良好的线性关系，可计算环境气氛中的氨气浓度；该QCM氨气传感器性能稳定、重复性好，可实现痕迹量氨气的快速检测。

主权项

一种以纳米TiO₂为敏感膜的石英晶体微天平氨气传感器的制备方法，其特征在于步骤如下：1）以AT切型的 8 MHz晶振片为气体传感器的基底，使用前先用分析纯去离子水和酒精反复清洗3次，然后将该晶振片放入60℃烘箱中干燥30 min待用；2）将纳米TiO₂粉末与分析纯无水乙醇混合，超声溶解30min，得到TiO₂乙醇溶液；3）将干燥后的晶振片固定于均胶机上并使晶振片圆心与均胶机圆盘圆心重合，设定预均胶时间与均胶时间分别为6s和15s，用胶头滴管向晶振片圆心滴加一滴TiO₂乙醇溶液后，开启均胶机，使用匀胶机旋转镀膜，重复旋镀3次得到镀膜，然后将镀膜的晶振片放于120℃烘箱中干燥12h， 即可制得检测氨气的石英晶体微天平气体传感器。