[发明专利]一种MoN/CrN纳米复合涂层及其活塞环有效
申请号: | 201410022372.4 | 申请日: | 2014-01-19 |
公开(公告)号: | CN103741101A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 韩滨;闫少健;付德君 | 申请(专利权)人: | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/06;F02F5/00 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 成钢 |
地址: | 443500 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种MoN/CrN纳米复合涂层,沉积MoN/CrN纳米复合涂层于活塞环上的方法及相关设备,属于真空电弧离子镀技术领域。该MoN/CrN纳米复合涂层包括活塞环表面的衬底材料原子与Mo离子混合沉积而成的过渡层及MoN纳米层与CrN纳米层周期交替沉积复合而成纳米复合薄膜层。通过在Mo靶和Cr靶中央设置2个呈90°交叉垂直的隔板来控制MoN/CrN纳米复合涂层厚度15~30nm,周期数100~1000实现在活塞环上沉积MoN/CrN纳米复合涂层。该活塞环有良好的结合力和耐磨耐温性能,保证了活塞环长期稳定工作,使活塞环工作性能大幅度提高,降低了厂家的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 mon crn 纳米 复合 涂层 及其 活塞环 | ||
【主权项】:
一种MoN/CrN纳米复合涂层,包括过渡层及纳米复合薄膜层,其特征在于:所述的过渡层为衬底材料原子与Mo离子混合沉积而成;所述的纳米复合薄膜层为MoN纳米层与CrN纳米层周期交替沉积复合而成。
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