[发明专利]五氧化三钛晶体的制备方法有效
申请号: | 201410023857.5 | 申请日: | 2014-01-20 |
公开(公告)号: | CN103806099A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 陈钦忠;张喻 | 申请(专利权)人: | 福州阿石创光电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/16 | 分类号: | C30B29/16;C30B28/06;C23C14/24;C23C14/08 |
代理公司: | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人: | 宋连梅 |
地址: | 350000 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种五氧化三钛晶体的制备方法,包括将钛粉和二氧化钛在一烧结模具中混匀、平铺压实;置于真空烧结炉内抽真空;分阶段烧结,最后冷却获得产品;其中烧结曲线如下:常温-1200℃,6~8℃/min;1200℃-1670℃,3-5℃/min;1670℃-1770℃,1.5-2.5℃/min;1770℃-1805℃,1-2℃/min;1805℃保温4-8h后冷却。本发明可制得片状的五氧化三钛晶体,片状Ti3O5晶体可缩短预熔时间,甚而可去除预熔工序,直接蒸镀,大大缩短了镀膜时间;且用片状Ti3O5晶体制得的镀膜层产品,其纯度和质量得到有效提升。 | ||
搜索关键词: | 氧化 晶体 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种五氧化三钛晶体的制备方法,其特征在于:利用一烧结模具制备五氧化三钛晶体,所述烧结模具包括一成型模具和一置于该成型模具上的坩埚;所述成型模具的中部向下凹陷,形成一容置槽;该成型模具具有一型腔,该型腔包括复数个紧贴设置的成型模孔,且每相邻两成型模孔之间均设有一缺口部;所述坩埚的中部向上隆起形成一凸台,且该坩埚的内壁与所述凸台之间环设有一凹槽;所述凹槽上间隔设有复数个小孔,且每该小孔均对应于一所述成型模孔设置;所述制备方法具体包括如下步骤:步骤1:将钛粉和二氧化钛按质量比为钛:二氧化钛=1:8.25混合均匀;再将混匀后的原料装在烧结模具的坩埚内,平铺压实;步骤2:将所述烧结模具置于一真空烧结炉内,抽真空至炉内真空度为10‑1pa以下;步骤3:分阶段升温烧结,各阶段的参数设定如下:A.常温‑1200℃,升温速率为6~8℃/min,真空度保持在3.0×10‑2pa以下;B.1200℃‑1670℃,升温速率为3~5℃/min,真空度保持在4.0×10‑2pa以下;C.1670℃‑1770℃,升温速率为1.5~2.5℃/min,真空度保持在6.0×10‑2pa以下;D.1770℃‑1805℃,升温速率为1~2℃/min,真空度保持在8.0×10‑2pa以下;此阶段在所述凹槽和所述凸台上分别生所颗粒状或块状的Ti3O5固体;E.在1805℃保温4~8h,此过程中,所述凹槽中的Ti3O5固体逐渐熔化成液体,同时所述凸台上的Ti3O5固体也熔化成液体并流到凹槽中,然后所述液体通过凹槽上的复数个小孔流到相应的所述成型模孔中,并通过所述缺口部在各个成型模孔中流动,直至贯满所有成型模孔,其余的液体流到所述容置槽中;步骤4:所述真空烧结炉以速度1.5~3℃/min冷却至1600℃,再断电自然冷却至室温,将所述烧结模具出炉,获得所述成型模孔中重新凝结的五氧化三钛晶体。
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