[发明专利]一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器有效
| 申请号： | 201410025205.5 | 申请日： | 2014-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN103808692A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 时尧成;刘鹏浩 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器。本发明包括宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器；且宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器自左向右依次耦合连接。光探测器为集成式MSM型硅基光电探测器，用于测量最终输出光强；宽带光源为外接的发光二极管所有输入光波导均为单模传输平面集成光波导；微腔传感单元为二维光子晶体微腔或一维光子晶体纳米梁微腔。本发明以强度探测取代频谱探测，避免使用光谱仪，结合平面光波导的集成化优势及微纳光腔的高灵敏度特性，实现光传感功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 马赫 干涉仪 级联 强度 探测 传感器 | ||
【主权项】：
一种马赫‑曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器，其特征在于包括宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫‑曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器；且宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫‑曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器自左向右依次耦合连接。
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