[发明专利]一种生物芯片用玻璃基片表面浴法抛光设备

摘要

本发明公开了一种生物芯片用玻璃基片表面浴法抛光设备，包括机床、外水盆、内水盆、沥青盘、配套抛光粉、转动机构、传动机构、磨盘、感温器、控制装置、控温器、抛光盘、定时器，所述的控温器、定时器和外水盆的盆体固定在机床内，内水盆（3）旋转设置于外水盆内，沥青盘固定设于内水盆底部，转动机构可转动地设置在机床上，传动机构设置于转动机构上，磨盘设置于传动机构所连接的转动杆上。本发明抛光精度高、质量稳定、操作方便，且带有抛光粉加料装置，自动感温系统可实现自动冷水降温，减少了人力、物力，本发明可以将生物芯片基片表面粗糙度控制在0.3nm以下，尤其适用于表面光滑度要求相当高的产品。

主权项

一种生物芯片用玻璃基片表面浴法抛光设备，其特征在于：包括机床(1)、外水盆(2)、内水盆(3)、沥青盘(4)、配套抛光液(5)、转动机构(6)、传动机构(7)、磨盘(8)、感温器(9)、控制装置(10)、控温器(11)、抛光盘(12)、定时器(13)，所述的控温器(11)、定时器(13)和外水盆(2)的盆体固定在机床(1)内，内水盆(3)旋转设置于外水盆(2)内，沥青盘(4)固定设于内水盆(3)底部，转动机构(6)可转动地设置在机床(1)上，传动机构(7)设置于转动机构(6)上，磨盘(8)设置于传动机构(7)所连接的转动杆(16)上；还包括控制装置(10)，所述的控制装置(10)与转动机构(6)及传动机构(7)电连接；所述内水盆(3)与沥青盘(4)之间同轴连接；所述转动机构(6)含转动部件以及电机驱动器(14)，所述电机驱动器(14)与控制装置(10)电连接，用以驱动传动机构(7)；所述转动机构(6)和传动机构(7)间以一固定柱连接，同时可连接磨盘(8)；所述抛光盘(12)与磨盘(8)紧密接触；还包括设置于外水盆(2)与内水盆(3)之间的控温器(11)和感温器(9)，所述控温器(11)和感温器(9)与控制装置(10)电连接；在使用之前应检查仪器的各个部位，检查正常后，方可使用；将抛光粉通过顶部的抛光粉加料口加入内水盆中，然后将待磨玻璃固定在磨盘上，磨盘则连接在转动机构上，磨盘浸没与抛光液中，同时与抛光盘紧密接触，然后根据所需要的精度，再作一次精密细致的调节；工件除自身旋转外，还在沥青盘上水平摆动；这样就保证了工件上每点与抛光盘上每点随机接触，从而实现工件材料的均匀去除；抛光开始时，通过搅拌方法，让磨料在溶液中均匀分布，这样使得不断有磨料颗粒沉淀在沥青盘上形成微小的刀刃，对工件进行切削；同时，磨料的自锐性使得抛光过程中不断有锋利边缘露出，进行磨削加工，但粒度变小了；经过一段时间的加工，工件与沥青盘已能很好地吻合，磨料粒度已足够小；此时不再进行搅动，使抛光液中磨料沉人桶底.不再有磨料颗粒沉淀在沥青盘上，沥青盘上的磨料逐渐减少；由于抛光中磨料颗粒不断被研碎挤入沥青中，沥青盘表面变得越来越光滑，磨料微粒变得越来越小，使得加工表面粗糙度降低；另外，工作时大量液体的存在保证了磨柱表面局部温度的恒定，使磨盘不易发生热变形，保证了高面形精度表面的可能性,且最后生物芯片用玻璃基片表面的粗糙度达到0.3nm以下。