[发明专利]类镜面表面测试方法

摘要

本发明公开本发明提供了一种类镜面表面测试方法，属于测量技术领域。它解决了现有的类镜面测试方法测试成本高的问题。本发明类镜面表面测试方法其包括：在显示屏上显示余弦条纹，将CCD分别沿被测物体表面X轴和Y轴方向移动移动以获得每一移动位置移动前后CCD摄取的余弦条纹图，比较每一移动位置移动前后的余弦条纹图以获得相位变化值，通过相位变化值得到被测物体类镜面表面X方向和Y方向的表面斜率，通过对斜率求解积分得到被测物体类镜面表面X方向和Y方向的初始高度分布值。本发明不需要设置辅助反射镜与干涉仪，在测试时仅需要一个CCD摄像机即可而且不需要对CCD摄像机进行标定，有效地降低了测量成本，简化了系统结构。本发明还提供一种类镜面表面测试装置。

主权项

一种类镜面表面的测试方法，其特征在于，包括步骤：S1：在显示屏上显示余弦条纹；将CCD分别沿被测物体类镜面表面X轴方向和Y轴方向移动多次并记录每一移动位置移动前后CCD摄取的余弦条纹图；S2：比较每一移动位置移动前后的余弦条纹图以获得相位变化值S3：将相位变化值代入公式：中，得到被测物体类镜面表面X方向和Y方向的表面斜率；其中，α表示CCD中轴线与被测物体类镜面表面法线方向的夹角；P表示相邻条纹间距；L表示被测物体与显示屏的垂直距离；S4：对X方向和Y方向的斜率分别求解积分，得到被测物体类镜面表面X方向和Y方向的初始高度分布值，X和Y方向初始高度分布值即可表征被测物体类镜面表面的形态。