[发明专利]一种磁传感装置及该装置的制备工艺

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置及该装置的制备工艺，所述制备工艺包括在含有外围电路的基底上沉积绝缘介质材料层或/和磁材料层或/和金属层，使得外围电路的一层或多层金属层用于实现所述磁传感装置的自检测或/和SET/RESET功能，或者作为磁传感装置的电极金属。本发明提出的磁传感装置及其制备工艺，通过器件、电路设计和版图布局，能够利用ASIC原有的一层或者多层金属实现磁传感器的金属层功能，从而实现减少磁传感器金属层的效果，例如可以将磁传感器的金属层从现有的三层下降为两层，甚至0层。从而大幅减少了工艺层次，有利于缩短工艺周期，降低制造成本，并且实现有竞争力的磁传感器单芯片制造工艺。

主权项

一种磁传感装置，其特征在于，所述磁传感装置包括外围电路、磁传感部件，其中的一层或多层的金属层既用于实现外围电路的功能，又用于实现磁传感部件的功能；所述外围电路包括多层的金属层；所述外围电路其中的一层或多层金属层用于实现所述磁传感装置的自检测或/和SET/RESET或/和电连接功能，或者作为磁传感装置的电极金属；所述磁传感装置为两轴磁传感装置；所述外围电路设置于基底的一侧，外围电路的多层金属层包括第一金属层、第二金属层，第一金属层、第二金属层通过基底的第一绝缘介质层隔离开；所述第一绝缘介质层上铺设有第二绝缘介质层，在第二绝缘介质层上设有磁材料层；磁材料层包括两组磁材料单元，分别代表两个轴，两组磁材料单元的位置分别对应第二金属层两组金属单元的位置；所述磁材料单元上设有若干平行设置的金属电极；所述磁材料层及其金属电极上方铺设有第三绝缘介质层，第三绝缘介质层上方设有第四金属层；所述第二金属层用于实现所述磁传感装置的自检测或/和SET/RESET或/和电连接功能，对应的，所述第四金属层用于实现磁传感装置的SET/RESET或/和自检测或/和电连接功能。