[发明专利]光阻干燥装置在审
| 申请号： | 201410028504.4 | 申请日： | 2014-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103760696A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 徐彬;邓冲 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种光阻干燥装置，用于抽取光阻中的溶剂。该光阻干燥装置包括腔体、开设有多个筛孔的筛板及抽气单元。该腔体包括开设有一个抽气孔的顶壁、与该顶壁相对的底壁以及连接该顶壁与该底壁的侧壁，涂布有该光阻的玻璃基板位于该腔体内。该筛板收容在该腔体内并位于该光阻与该顶壁之间。该抽气单元位于该腔体外并与该抽气孔连接以通过该抽气孔从该腔体内抽气。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种光阻干燥装置，用于抽取光阻(300)中的溶剂，其特征在于，该光阻干燥装置(100)包括：腔体(10)，该腔体(10)包括开设有一个抽气孔(120)的顶壁(12)、与该顶壁(12)相对的底壁(14)以及连接该顶壁(12)与该底壁(14)的侧壁(16)，涂布有该光阻(300)的玻璃基板(200)位于该腔体(10)内；开设有多个筛孔(44)的筛板(40)，该筛板(40)收容在该腔体(10)内并位于该光阻(300)与该顶壁(12)之间；抽气单元(50)，位于该腔体(10)外并与该抽气孔(120)连接以通过该抽气孔(120)从该腔体(10)内抽气。
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