[发明专利]立体等离子源系统有效
| 申请号： | 201410031296.3 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN104810233B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 管长乐 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种立体等离子源系统，包括组成可封闭空间的电绝缘材料零件、进气盖板、腔室盖板和金属腔体；以及环绕在电绝缘材料零件周侧的射频激发装置；电绝缘材料零件包括进气端和腔室端；进气盖板覆盖进气端；腔室盖板覆盖腔室端和金属腔体的连接端，并由金属腔体的连接端向外延伸形成第二延伸端；腔室盖板上设置有用于向可封闭空间加热的至少一个第二加热器，以及位于第二延伸端的第二冷却器；立体等离子源系统还包括位于腔室盖板覆盖腔室端处的用于检测可封闭空间温度的第二热电偶。其设计合理、结构简单、能够提高电绝缘材料零件温度均匀性从而避免其断裂。 | ||
| 搜索关键词： | 立体 离子源 系统 | ||
【主权项】：
一种立体等离子源系统，包括组成可封闭空间的电绝缘材料零件、进气盖板、腔室盖板和金属腔体；以及环绕在电绝缘材料零件周侧的射频激发装置；其特征在于：所述电绝缘材料零件包括进气端和腔室端；所述进气盖板覆盖所述进气端；所述腔室盖板覆盖所述腔室端和所述金属腔体的连接端，并由金属腔体的连接端向外延伸形成第二延伸端；所述腔室盖板上设置有用于向所述可封闭空间加热的至少一个第二加热器，以及位于所述第二延伸端的第二冷却器；所述立体等离子源系统还包括位于所述腔室盖板覆盖所述腔室端处的用于检测所述可封闭空间温度的第二热电偶。
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