[发明专利]一种用于氢化物气相外延的反应器有效
| 申请号： | 201410031343.4 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103806092A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 魏武;刘鹏;赵红军;张俊业;童玉珍;张国义 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/14;C30B29/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523518 *** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用于立式氢化物气相外延（HVPE）的反应器，包括轴对称圆柱型腔体、前驱物通道、衬底、石墨圆盘及支撑杆；其中前驱物通道从上至下依次由第一圆筒、过渡段、第二圆筒、裙体扩展段、第三圆筒组成；该反应器还包括设置在第二圆筒中间位置的第二整流板，设置在第三圆筒内部具有周向阵列折流板的第一折流装置；包括设置在通道第一、第二、第三圆筒内部的第一、第二、第三整流板，以及设置在石墨盘径向外围的第二折流装置；包括对反应式腔体外壁进行径向扩充；包括设置在通道第一、第二圆筒内部的第一、第二整流板，设置在第三圆筒内部与石墨盘径向外围的第一、第二折流装置，以及反应气体的径向出口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氢化物 外延 反应器 | ||
【主权项】：
一种立式氢化物气相外延（HVPE）用反应器，其特征为：包括轴对称圆柱型腔体、前驱物通道、衬底、石墨圆盘及支撑杆、整流板、折流装置；其中所述前驱物通道从上至下依次由第一圆筒、过渡段、第二圆筒、裙体扩展段、第三圆筒组成；其特征还在于：所述整流板设置在前驱物通道第一圆筒、第二圆筒或第三圆筒内部；所述折流装置设置在第三圆筒内表面或石墨盘径向外围；所述反应器的下端反应气体排放出口采用径向出口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学，未经东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410031343.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
