[发明专利]高空间分辨率子孔径拼接方法

摘要

高空间分辨率子孔径拼接方法，涉及超高空间分辨率子孔径拼接方法，解决现有技术存在的问题，将干涉仪与高精度六维运动台固定，利用补偿镜头将干涉仪发出的平面波变为待测表面对应的波形；驱动Stewart平台带动小孔径角的镜头围绕待测表面的零像差点进行转动，获得待测表面的子孔径位置以及波像差数据；对子孔径位置及波前数据进行分析，实现待测表面的子孔径拼接；通过获得的子孔径的波前拟合待测表面整体波前的Zernike系数，实现去除子孔径的低阶像差；利用周期图法从子孔径得到整体待测表面的功率谱，并利用功率谱得到镜面的斜率均方根。本发明突破现有CCD成像单元的限制，得到大口径光学表面的超高分辨率面形检测结果。

主权项

1.高空间分辨率子孔径拼接方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、将干涉仪与高精度六维运动台固定，利用补偿镜头将干涉仪发出的平面波变为待测表面对应的波形；步骤二、驱动Stewart平台带动小孔径角的镜头围绕待测表面的零像差点进行转动，获得待测表面的子孔径位置以及波像差数据；步骤三、对步骤二获得的子孔径位置及波前数据进行分析，通过获得的子孔径的波前拟合待测表面整体波前的Zernike系数，去除子孔径的低阶像差；利用周期图法从子孔径得到整体待测表面的功率谱，并利用功率谱得到镜面的斜率均方根；实现待测表面的子孔径拼接；具体过程为：利用二维功率谱及功率谱频域平均半径，将二维功率谱坍陷为一维形式：ρ‾i=1NiΣNi-1Niρl]]>PSD1D=1NΣNi-1NiPSD2D(ρl)]]>式中，ρ_l为功率谱计算半径；根据标准正弦多项式Φ=Asin(2πfx)，式中，A为一阶谐波系数，Φ为子孔径的波前，根据获得将f作为系统的截止频率。