[发明专利]一种通过光学显微镜观测纳米结构的方法有效
申请号: | 201410034579.3 | 申请日: | 2014-01-25 |
公开(公告)号: | CN104808325B | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 王江涛;李天一;赵清宇;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00 |
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地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种通过光学显微镜观测纳米结构的方法。该方法包括以下步骤S1,提供一待观测样品,该待观测样品具有纳米结构;S2,将上述待观测样品放置在所述光学显微镜系统的光学显微镜的载物台上;以及,S3,向所述待观测样品表面通入蒸气。由于蒸气可以在载物台上的样品的纳米结构表面形成液滴,从可以使得光学显微镜直接观测到该具有纳米结构的样品形态。该光学显微镜系统具有效率高,成本低的优点,从而可以大大提高纳米结构的观测效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 通过 光学 显微镜 观测 纳米 结构 方法 | ||
【主权项】:
一种通过光学显微镜观测纳米结构的方法,包括以下步骤:S1,提供一待观测样品,该待观测样品具有纳米结构;S2,提供一光学显微镜系统,该光学显微镜系统包括一光学显微镜及光学显微镜的辅助装置,该光学显微镜包括物镜以及载物台,该光学显微镜的辅助装置包括一鼓气部、一蒸气发生部以及一导汽管,所述鼓气部与所述蒸气发生部的一端相互连接,所述蒸气发生部的另一端与所述导汽管连接,所述鼓气部向所述蒸气发生部通入气体,从而将所述蒸气发生部产生的蒸气带入导汽管中;所述蒸气发生部包括一液体吸收材料、一空心管以及一加热层,所述液体吸收材料设置在所述空心管的内部;所述鼓气部通过收缩将外界的空气吸入并排出;以及S3,将所述待观测样品放置在所述载物台上,用所述光学显微镜的辅助装置向所述待观测样品表面通入蒸气。
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