[发明专利]检测装置在审
| 申请号： | 201410034775.0 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN104237667A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张嘉泰;蔡锦溢;陈秋桂;余陈志;赖建彰;杨金田;杨惠彬;张庚生;范馨文;涂淑惠 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅;王燕秋 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测装置，包括一电路板，具有一第一面、一第二面以及至少一第一狭槽，所述第一面与所述第二面相对设置，所述至少一第一狭槽贯穿所述电路板并连通所述第一面与所述第二面；多个固定件，固定于所述第一面；多个探针，每一探针具有一侦测部、一延伸部以及一焊接部，所述侦测部具有一侦测端以及一悬臂，所述悬臂连接所述侦测端与所述延伸部一端，且所述悬臂连接于其中一所述固定件，所述延伸部另一端连接所述焊接部，其中，所述悬臂与所述延伸部之间具有一第一夹角，所述侦测端与所述悬臂之间具有一第二夹角，所述延伸部经由所述第一狭槽穿过所述电路板，所述焊接部焊接于所述第二面。本发明可以同时检测待测晶圆上的多个电子元件，有效节省探针卡上的探针布设空间以及晶圆测试的工时。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种检测装置，其特征在于包括：一电路板，具有一第一面、一第二面以及至少一第一狭槽，所述第一面与所述第二面相对设置，所述至少一第一狭槽贯穿所述电路板并连通所述第一面与所述第二面；多个固定件，固定于所述第一面；多个探针，每一探针具有一侦测部、一延伸部以及一焊接部，所述侦测部具有一侦测端以及一悬臂，所述悬臂连接所述侦测端与所述延伸部一端，且所述悬臂连接于其中一所述固定件，所述延伸部另一端连接所述焊接部，其中，所述悬臂与所述延伸部之间具有一第一夹角，所述侦测端与所述悬臂之间具有一第二夹角，所述延伸部经由所述第一狭槽穿过所述电路板，所述焊接部焊接于所述第二面。
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