[发明专利]一种输入位置控制的多模干涉型光开关及其制备方法有效
| 申请号： | 201410034800.5 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103777283A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 孙小菡;戚健庭;蒋卫锋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人： | 王斌 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种输入位置控制的多模干涉型光开关，包括平面光波光路芯片、光源、输入光纤阵列和电动自动调芯装置，平面光波光路芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导，以及覆盖层，波导包括输入级单模波导、中间级多模波导和n个输出级单模波导；光源与输入光纤阵列的输入端连接，输入光纤阵列的输出端与输入级单模波导的输入端连接，输入级单模波导的输出端通过中间级多模波导与n个输出级单模波导的输入端连接；输入光纤阵列固定连接在电动自动调芯装置上。该光开关的开关状态可调，且工艺、结构简单，成本低。本发明还公开了一种上述的输入位置控制的多模干涉型光开关的调节方法，该调节方法简单，可快速实现开关状态的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输入 位置 控制 干涉 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种输入位置控制的多模干涉型光开关，其特征在于，该光开关包括平面光波光路芯片（1）、光源（2）、输入光纤阵列（3）和电动自动调芯装置（4），平面光波光路芯片（1）包括硅衬底（101）、生长在硅衬底（101）上方的二氧化硅缓冲层（102）、生长在二氧化硅缓冲层（102）上方的波导（103），以及生长在波导（103）上的覆盖层（104），波导（103）包括输入级单模波导（1031）、中间级多模波导（1032）和n个输出级单模波导（1033），n为偶数，且n≥2；光源（2）与输入光纤阵列（3）的输入端连接，输入光纤阵列（3）的输出端与输入级单模波导（1031）的输入端连接，输入级单模波导（1031）的输出端通过中间级多模波导（1032）与n个输出级单模波导（1033）的输入端连接；输入光纤阵列（3）固定连接在电动自动调芯装置（4）上。
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