[发明专利]光刻物镜奇像差原位检测方法

摘要

一种光刻机投影物镜奇像差原位检测方法，本发明通过处理检测标记空间像在不同对称位置的光强差值，确定最佳测量位置，获得与其对应的最佳灵敏度矩阵。本发明利用检测标记空间像在最佳测量位置的光强差与投影物镜奇像差间的线性关系，提高像差的检测精度。

主权项

1.一种光刻机投影物镜奇像差原位检测方法，该方法使用的系统包括产生照明光束的光源、调整光源发出的光束的照明方式和部分相干因子并使光束均匀照明的照明系统、搭载掩模并利用定位装置实现精确定位的掩模台、包含检测标记的掩模、能将掩模图形成像且数值孔径可调的投影物镜、搭载硅片并利用定位装置实现精确定位的工件台、安装在工件台上的记录所述掩模成像的光强分布的像传感装置、数据处理装置；特征在于，该方法包括以下步骤： ①利用光刻仿真软件标定检测标记空间像X方向最佳测量位置x_B的像差灵敏度矩阵和Y方向最佳测量位置y_B的像差灵敏度矩阵②测量投影物镜奇像差引起的标记空间像在X方向最佳测量位置x_B处的光强差值和Y方向最佳测量位置y_B处的光强差值依次设置光刻机照明方式为选定的1□N_S种照明方式，测量X方向标记空间像在的±x_B处的光强，将测量结果输入数据处理装置，得到不同照明条件下X方向奇像差引入的±x_B处的光强差值： 上述测量过程同样用于Y方向标记，得到不同照明条件下Y方向奇像差引入的±y_B处的光强差值： ③计算光刻机投影物镜的奇像差： 根据步骤①中得到的最佳灵敏度矩阵和和步骤②中得到的光强差值和利用最小二乘法和下列公式，计算得到投影物镜X和Y方向的奇像差：