[发明专利]一种超声微磨削加工设备及工艺

摘要

本发明公开了一种超声微磨削加工设备及工艺，包括隔振工作台，隔振工作台上固定有左右对称设置的立柱，立柱之间通过横梁连接，横梁上设置有带动磨削装置高速旋转的主轴组件，主轴组件的下方设置有超声振动平台，超声振动平台为由压电叠层作动器驱动，以极坐标系为工作坐标系的二维超声振动平台。本发明提供的单驱动极坐标二维超声微磨削加工设备，在加工过程中选用压电叠层作动器替代现有常用的超声变幅杆作为驱动源，振幅和频率都可调的同时，大大简化了超声振动平台的结构；同时提供干、湿磨削，圆周磨削，端面磨削等多种磨削方式，加工效果更好；使用超声微磨削加工设备进行工件加工，加工过程更加简单多样，加工出的工件精确度更高。

主权项

一种超声微磨削加工设备，包括隔振工作台(1)，所述隔振工作台(1)上固定有左右对称设置的立柱(2)，所述立柱(2)之间通过横梁(3)连接，所述横梁(3)上设置有带动磨削装置高速旋转的主轴组件(4)，其特征在于：所述主轴组件(4)的下方设置有超声振动平台(7)，所述超声振动平台(7)为由压电叠层作动器(75)驱动，以极坐标系为工作坐标系的二维超声振动平台；所述隔振工作台(1)上还设置有吸振台(5)，所述吸振台(5)设置于所述横梁(3)的下方，位于所述立柱(2)之间；所述吸振台(5)的上表面设置有三向微进给系统(6)，所述三向微进给系统(6)通过承载板(71)连接有检测装置(72)；所述检测装置(72)的上表面设置有超声振动平台(7)；所述横梁(3)的上表面和侧面均设置有用于安装所述主轴组件(4)的固定孔，所述主轴组件(4)上设置有所述磨削装置，所述磨削装置对工件(8)进行端面磨削或周向磨削。