[发明专利]能量色散型荧光X射线分析装置

摘要

本发明提供一种能量色散型荧光X射线分析装置，即使温度有变化，也可准确定量测定对象元素。一种能量色散型荧光X射线分析装置具备：X射线源（1），其放射包含从靶材产生的能量E1的特征X射线的激发X射线（A）；滤波器（7），其由与构成靶材的元素相同的元素或原子序数比构成所述靶材的元素大1的元素构成；检测器（4），其在检测出激发X射线（A）的同时，检测出从试样产生的荧光X射线（B）；波高分析器（5）；运算部（6）。运算部（6）将基于能量E1的特征X射线的波峰的低波高侧半部分，视为以波峰顶点的波高值H1为折叠轴翻转高波高侧半部分而成，求出基于所述试样中的测定对象元素的能量Ex的特征X射线的波峰的计数值。

主权项

1.一种能量色散型荧光X射线分析装置，其基于通过对试样照射激发X射线所产生的荧光X射线，分析所述试样中的测定对象元素，其特征在于，其具备：X射线源，其放射包含从靶材产生的能量E1的特征X射线的激发X射线，滤波器，其由与构成所述靶材的元素相同的元素或原子序数比构成所述靶材的元素大1的元素构成，以过滤从所述X射线源至所述试样的激发X射线的光束的形式设置；检测器，其在检测出所述激发X射线的同时，检测出从所述试样产生的荧光X射线，波高分析器，其将所述检测器的输出转换为以对应能量值的波高值为横轴、以计数值为纵轴的波谱，运算部，其根据从该波高分析器获得的波谱，求得所述试样中的测定对象元素的信息；其中，所述运算部，根据基于能量E1的特征X射线的波峰的计数值，对各波高值的计数值进行修正，同时，将基于能量E1的特征X射线的波峰的波峰顶点的低波高侧半部分，视为以波峰顶点的波高值H1为折叠轴翻转高波高侧半部分而成，求出基于所述试样中的测定对象元素的能量Ex的特征X射线的波峰的计数值，获得所述试样中的测定对象元素的定量信息。