[发明专利]大口径元件表面检测装置及相应的损伤快速定位方法

摘要

本发明公开了一种大口径光学元件表面损伤检测装置。该装置包括：线阵相机组件，获取光学元件表面局部低精度线阵图像；显微相机组件，获取光学表面局部高精度面阵图像；扫描聚焦组件，控制线阵相机组件和显微相机组件对光学元件表面的扫描、定位和聚焦；专用夹具，对光学元件进行定位夹紧和姿态调整；数据采集处理器，进行图像采集处理分析和电机驱动控制。本发明还公开一种元件损伤的快速定位方法。该方法通过在线阵图像中指定感兴趣损伤点，将显微相机组件的轴心快速移动到损伤点位置。本发明能够对光学元件表面的损伤进行快速定位，并进行高精度的显微成像，定位精度约为50微米。本发明具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。

主权项

一种大口径光学元件表面损伤检测装置，其特征在于，该装置包括：线阵相机组件、显微镜组件、扫描聚焦组件、专用夹具和数据采集处理器，其中：所述专用夹具固定安装在检测平台上，用于实现待检测光学元件的定位和夹紧，并根据数据采集处理器的调整指令对待检测光学元件的姿态进行调整；所述线阵相机组件安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部缩小的低精度线阵图像，并将获取到的线阵图像发送给所述数据采集处理器进行存储、处理和分析；所述显微镜组件安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部放大的高精度面阵图像，并将获取到的面阵图像发送给所述数据采集处理器进行存储、处理和分析；所述扫描聚焦组件与所述线阵相机组件和显微镜组件连接，用于根据所述数据采集处理器的驱动指令运动，以实现所述线阵相机组件、所述显微镜组件对于待检测光学元件表面的扫描、定位和聚焦；所述数据采集处理器与所述线阵相机组件、显微镜组件和扫描聚焦组件连接，用于对于所述专用夹具和扫描聚焦组件的运动进行控制，并对接收到的图像进行存储、处理和图像损伤信息分析。