[发明专利]柔性嵌入式光互连结构及其制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性嵌入式光互连结构及其制备方法，其中柔性嵌入式光互连结构包括光波导板材，光波导板材上开设有激光烧蚀槽，光波导板材上激光烧蚀槽的两侧设置有通孔；光波导板材的上下表面上自内向外依次设置有带图形的化学镀铜层、金属电镀层以及金属保护层，光波导板材上表面的金属保护层上方安装有光电芯片和电芯片，光电芯片和电芯片上覆盖有密封胶体；光波导板材下表面的金属保护层下方设置有焊球。本发明制作工艺简单，适合于大批量生产，为光PCB板的普及提供了基础。

主权项

柔性嵌入式光互连结构，其特征在于：包括由包覆材料（3）以及嵌装在包覆材料（3）中的光波导（2）构成的光波导板材（1），光波导板材（1）上开设有开口朝下的带光反射界面（5）的激光烧蚀槽（4），光波导板材（1）上激光烧蚀槽（4）的两侧垂直设置有贯穿光波导板材（1）的通孔（6）；所述光波导板材（1）的上下表面上自内向外依次设置有带图形的化学镀铜层（7）、金属电镀层（8）以及金属保护层（9），光波导板材（1）上表面的金属保护层（9）上方安装有光电芯片（10）和电芯片（11），光电芯片（10）和电芯片（11）上覆盖有密封胶体（12）；所述光波导板材（1）下表面的金属保护层（9）下方设置有对外电接口；一个完整的双向柔性嵌入式光互连结构包括两个光收发部分（14）和位于两光收发部分（14）中间的光传输部分（15），光传输部分除了其所在部分的光波导（2）传输光信号还实现两个光收发部分（14）间的光连接，光传输部分的光波导板材（1）上下表面的金属布线实现两个光收发部分（14）间的电连接；所述光传输部分（15）为包含光波导的光波导板材（1），光波导板材上下表面的金属布线包括化学镀铜层、金属电镀层和金属保护层；所述光收发部分（14）包括设置在光波导板材（1）两端部的光电芯片（10）、电芯片（11）以及设置在光波导板材（1）两端部的带光反射界面（5）的激光烧蚀槽（4）。