[发明专利]一种多晶硅铸锭工艺

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭工艺，包括步骤：一、预热；二、熔化；三、长晶：温度控制在T6并保温1h，T6=1420℃；隔热笼提升高度为90mm；温度控制在T6并保温2h，隔热笼提升高度不变；温度控制在T6并保温3h，隔热笼提升高度为110mm；温度由T6逐渐降至T7，降温时间为7～9h，隔热笼提升高度为210mm；T7=1405℃；温度控制在T7并保温7～9h，隔热笼提升高度不变；温度控制在T7并保温7～9h，隔热笼提升高度不变；温度由T7逐渐降至T8，隔热笼提升高度不变；T8=1395℃；四、退火及冷却。本发明步骤简单、设计合理、实现方便且易于掌握、使用效果好，能对铸锭长晶过程进行合理控制。

主权项

一种多晶硅铸锭工艺，其特征在于该工艺包括以下步骤：步骤一、预热：采用铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行预热，并将所述铸锭炉的加热温度逐步提升至T1；预热时间为6h～10h，其中T1=1165℃～1185℃；步骤二、熔化：采用所述铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行熔化，直至坩埚内的硅料全部熔化；熔化温度为T1～T5；其中T5=1540℃～1560℃；本步骤中熔化过程中，向所述铸锭炉内充入惰性气体并将所述铸锭炉内气压保持在Q1，其中Q1=550mbar～650mbar；步骤三、长晶：将所述铸锭炉的加热温度由T5逐渐降至T6后，开始进行定向凝固并进入长晶过程，其中T6为多晶硅结晶温度且T6=1420℃～1440℃；长晶过程如下：步骤301、将所述铸锭炉的加热温度控制在T6，并保温50min～70min；本步骤中，所述铸锭炉的隔热笼提升高度为60mm～100mm；步骤302、将所述铸锭炉的加热温度控制在T6，并保温100min～140min；本步骤中，所述铸锭炉的隔热笼提升高度与步骤301中的提升高度相同；步骤303、将所述铸锭炉的加热温度控制在T6，并保温160min～200min；本步骤中，所述铸锭炉的隔热笼提升高度为105mm～115mm；步骤304、将所述铸锭炉的加热温度由T6逐渐降至T7，降温时间为7h～9h；本步骤中，所述铸锭炉的隔热笼提升高度为205mm～215mm；其中，T7=1405℃～1425℃；步骤305、将所述铸锭炉的加热温度控制在T7，并保温7h～9h；本步骤中，所述铸锭炉的隔热笼提升高度与步骤304中的提升高度相同；步骤306、将所述铸锭炉的加热温度控制在T7，并保温7h～9h；本步骤中，所述铸锭炉的隔热笼提升高度与步骤304中的提升高度相同；步骤307、将所述铸锭炉的加热温度由T7逐渐降至T8，降温时间为4h～5.5h；本步骤中，所述铸锭炉的隔热笼提升高度与步骤304中的提升高度相同；其中，T8=1395℃～1415℃；步骤四、退火及冷却：步骤三中长晶过程完成后，进行退火与冷却，并获得加工成型的多晶硅铸锭。