[发明专利]一种在OCD测量中用于筛选波段的方法和装置

摘要

本发明提供了一种在OCD测量中用于筛选波段的方法，其中，该方法包括以下步骤：a）对于待测结构模型的多个结构参数中的每个结构参数，根据由该结构参数变化而造成相应的光谱上每个波长点的光谱信号偏移量，确定该结构参数在所述每个波长点处的灵敏度；b）根据所述多个结构参数分别在其每个波长点处的灵敏度，筛选一个或多个光谱波段；c)根据筛选出的光谱波段，实现测量光谱与理论光谱数据库的匹配。根据本实施例的方法，可以提高OCD参数测量的信噪比和准确性。

主权项

一种在OCD测量中用于筛选波段的方法，其中，该方法包括以下步骤：a对于待测结构模型的多个结构参数中的每个结构参数，根据由该结构参数的变化而造成的相应光谱上每个波长点的光谱信号偏移量，确定该结构参数在所述每个波长点处的灵敏度；b根据所述多个结构参数分别在其每个波长点处的灵敏度，筛选一个或多个光谱波段；其中，该方法还包括对所述一个或多个光谱波段中的一个光谱波段执行的以下步骤：x根据所述多个结构参数分别在该光谱波段的每个波长点处的、未归一化的灵敏度，获得所述多个结构参数中每个结构参数在该光谱波段内的未归一化的灵敏度；y结合所述多个结构参数各自的统化权重，对所述多个结构参数中每个结构参数在该光谱波段内的未归一化的灵敏度进行统化处理，确定该光谱波段的统化后的灵敏度；z根据该光谱波段的统化后的灵敏度以及全波段的统化后的灵敏度，确定该光谱波段的统化后的灵敏度与全波段的统化后的灵敏度的比值，并根据所述比值来确定该光谱波段在光谱拟合时的系数。