[发明专利]一种硅粉提纯用铸锭方法有效

专利信息
申请号: 201410042692.6 申请日: 2014-01-28
公开(公告)号: CN103741216A 公开(公告)日: 2014-04-23
发明(设计)人: 周建华 申请(专利权)人: 西安华晶电子技术股份有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 谭文琰
地址: 710077 陕*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种硅粉提纯用铸锭方法,包括步骤:一、装料:将用硅粉压制成型的硅饼装入坩埚内作为铸锭硅料;二、预热;三、熔化,过程如下:第1步、保温;第2步至第5步、升温及加压;第6步、第一次升温及保压:温度提升至T3且升温时间为3~8h,T3=1450℃;第7步:第二次升温及保压:温度提升至T4且升温时间为3~8h,T4=1500℃;第8步、第三次升温及保压:温度提升至T5且升温时间为3~8h,T5=1550℃;第9步、保温;第10步、持续保温;四、长晶;五、退火及冷却。本发明步骤简单、设计合理且易于掌握、使用效果好,能使用低成本硅粉制成高转换效率铸锭产品,达到减少浪费、降低成本的目的。
搜索关键词: 一种 提纯 铸锭 方法
【主权项】:
一种硅粉提纯用铸锭方法,其特征在于该方法包括以下步骤:步骤一、装料:将用硅粉压制成型的硅饼(1)装入坩埚内作为铸锭用硅料;步骤二、预热:采用铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行预热,并将所述铸锭炉的加热温度逐步提升至T1;预热时间为6h~10h,其中T1=1165℃~1185℃;步骤三、熔化:采用所述铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行熔化,直至坩埚内的硅料全部熔化,且熔化过程如下:第1步、保温:将所述铸锭炉的加热温度控制在T1,并保温0.4h~0.6h;第2步至第5步、升温及加压:由先至后分四步将所述铸锭炉的加热温度由T1逐渐提升至T2,升温时间为0.4h~0.6h;升温过程中向所述铸锭炉内充入惰性气体并将所述铸锭炉的气压逐步提升至Q1;其中,T2=1190℃~1210℃;第6步、第一次升温及保压:将所述铸锭炉的加热温度由T2逐渐提升至T3且升温时间为3h~8h,升温过程中所述铸锭炉内气压保持在Q1;其中,T3=1440℃~1460℃;第7步:第二次升温及保压:将所述铸锭炉的加热温度由T3逐渐提升至T4且升温时间为3h~8h,升温过程中所述铸锭炉内气压保持在Q1;其中,T4=1490℃~1510℃;第8步、第三次升温及保压:将所述铸锭炉的加热温度由T4逐渐提升至T5且升温时间为3h~8h,升温过程中所述铸锭炉内气压保持在Q1;其中,T5=1540℃~1560℃;第9步、保温:将所述铸锭炉的加热温度控制在T5,并保温3.5h~4.5h;保温过程中,所述铸锭炉内气压保持在Q1;第10步、持续保温:将所述铸锭炉的加热温度控制在T5,并保温4h~8h,直至坩埚内的硅料全部熔化;保温过程中,所述铸锭炉内气压保持在Q1;步骤四、长晶:将所述铸锭炉的加热温度由T5逐渐降至T6后进行定向凝固,直至完成长晶过程;其中T6为多晶硅结晶温度且T6=1420℃~1440℃;步骤五、退火及冷却:步骤四中长晶过程完成后,进行退火与冷却,并获得提纯后的多晶硅铸锭。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安华晶电子技术股份有限公司,未经西安华晶电子技术股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410042692.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top