[发明专利]液体滴下装置

摘要

本发明提供一种能够以准确的微少量向对象物滴下液化软钎料等的液体的液体滴下装置。具有：液体接受部，蓄积所述液体而形成液体蓄积部；喷嘴，具有与在所述液体接受部中蓄积所述液体的区域连通并且所述液体能够通过的喷嘴孔；致动器；和杆，其一个端部被浸渍于液体蓄积部中，另一端部被致动器支持，能够沿喷嘴孔的形成轴方向移动，以及与喷嘴孔的形成轴同轴且与喷嘴孔连通，并具有规定的长度的导孔；和能够从与喷嘴孔连通的一侧向导孔供给惰性气体的惰性气体供给系统，杆通过致动器能够在形成轴方向上直线运动，通过杆的直线运动而使液体蓄积部的一部分产生波动能，液体因波动能而从喷嘴孔滴下。

主权项

一种液体滴下装置，是滴下规定量的液体的液体滴下装置，其特征在于，具有：液体接受部，该液体接受部蓄积所述液体而形成液体蓄积部；喷嘴，该喷嘴具有与在所述液体接受部中蓄积所述液体的区域连通并且所述液体能够通过的喷嘴孔；致动器；和杆，该杆的一个端部被浸渍于所述液体蓄积部中，另一端部被所述致动器支持，能够沿所述喷嘴孔的形成轴方向移动，以及与所述喷嘴孔的所述形成轴同轴、且与所述喷嘴孔连通，并具有规定的长度的导孔；和能够从与所述喷嘴孔连通的一侧向所述导孔供给惰性气体的惰性气体供给系统，所述杆通过所述致动器能够在所述形成轴方向上直线运动，通过所述杆的所述直线运动而使所述液体蓄积部的一部分产生波动能，所述液体因所述波动能而从所述喷嘴孔滴下。