[发明专利]一种基于物料供应系统模型的工艺环境压力调度方法

摘要

一种基于物料供应系统模型的工艺环境压力调节方法，其包括根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型；将进出舟阶段的反应腔室与微环境作为一个整体，形成组合腔室，引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取物料供应系统系统状态反馈控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数；根据微环境和反应腔室的压差，以及所述反馈控制律参数，对反应腔室与微环境作为一个整体进行同步调节流量控制机构，实现物料在进出舟阶段的压力稳定。因此，本发明将微环境调节模块接入真空泵环节，把进出舟阶段的反应腔室与微环境作为一个整体进行同步调节，进而通过物料压力环境的闭环状态方程，实现物料在进出舟阶段的压力稳定。

主权项

一种基于物料供应系统模型的工艺环境压力调节方法，其特征在于，所述方法具体包括如下步骤：步骤S1：根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型；其中，所述物料供应系统包括微环境压力调节模块和反应腔室压力环境调节模块，两个所述压力调节模块输出端共同与真空泵环节连接在一起；步骤S2：将进出舟阶段的反应腔室与微环境作为一个整体，形成组合腔室，引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；步骤S3：获取物料供应系统系统状态反馈控制律；步骤S4：通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数；步骤S5：根据微环境和反应腔室的压差，以及所述反馈控制律参数，对反应腔室与微环境作为一个整体进行同步调节流量控制机构，实现物料在进出舟阶段的压力稳定。