[发明专利]大型中、高真空抽气机组及其抽气工艺无效
| 申请号： | 201410043412.3 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103758733A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 储继国 | 申请（专利权）人： | 储继国 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B37/14;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人： | 姜胜攀 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种大型中、高真空抽气机组及其抽气工艺，采用并联抽气的深冷水汽泵、牵引分子泵和化学吸附泵机组，取代传统串联抽气的扩散泵+罗茨泵机组。其中，牵引分子泵用于抽除压强几百Pa~几Pa区段的气体；深冷水汽泵和牵引分子泵并联，用于抽除压强几Pa~10-2Pa区段的气体；牵引分子泵、深冷水汽泵和化学吸附泵并联，用于抽除≤10-2Pa区段的气体；从而实现提高中、高真空交接区段的抽气能力，降低抽气能耗和运行成本，消除油蒸汽污染和提高真空产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 大型 真空 抽气机 及其 工艺 | ||
【主权项】：
一种大型中、高真空抽气机组，包括真空室，其特征在于，所述真空室分别与一粗抽泵、一牵引分子泵、一深冷水汽泵和一化学吸附泵连接，所述牵引分子泵的排气口与一前级泵连接。
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