[发明专利]一种多晶硅还原炉的原料气进料量的控制装置

摘要

本发明公开了一种通入多晶硅还原炉的原料气进料量的控制装置，多晶硅还原炉包括进气口和排气口，通入的原料气包括多晶硅还原炉中排出的尾气、新通入的三氯氢硅和新通入的氢气，其中，尾气中包括尾气中的三氯氢硅、尾气中的氯化氢和尾气中的氢气，控制装置包括尾气中的氯化氢的摩尔含量检测机构、原料气进料机构和总控制器，尾气中的氯化氢的摩尔含量检测机构与总控制器电连接，原料气进料机构与总控制器电连接。该装置实现了向还原炉中通入尾气的摩尔量的在线自动控制，无需人员监控，且可以随时改变通入的尾气的量保持多晶硅还原炉生产时，炉内的三氯氢硅和氯化氢的比值在正常高效生产的合理范围，从而对于尾气进行了最大程度的合理的利用。

主权项

一种通入多晶硅还原炉的原料气进料量的控制装置，所述多晶硅还原炉包括进气口和排气口，通入的原料气包括：多晶硅还原炉中排出的尾气、新通入的三氯氢硅和新通入的氢气，其中，所述尾气中包括尾气中的三氯氢硅、尾气中的氯化氢和尾气中的氢气，其特征在于，所述控制装置包括：所述尾气中的氯化氢的摩尔含量检测机构、原料气进料机构和总控制器，所述尾气中的氯化氢的摩尔含量检测机构与所述总控制器电连接，所述原料气进料机构与所述总控制器电连接。