[发明专利]研磨装置及研磨方法有效
| 申请号： | 201410043555.4 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103962939B | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 关正也;户川哲二 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/07 | 分类号： | B24B37/07;B24B37/005 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 梅高强,刘煜 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种研磨装置，具有对基板(W)进行保持并使其旋转的基板保持部(3)；将研磨件(38)按压抵接于基板(W)而对该基板进行研磨的按压部件(51)；对按压部件(51)的按压力进行控制的按压力控制机构(56)；以及对按压部件(51)的研磨位置进行限制的研磨位置限制机构(65)。作为研磨件(38)，使用研磨带或固定磨料。采用本发明，能精密地控制基板的研磨量。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，具有：基板保持部，该基板保持部对基板进行保持并使所述基板旋转；按压部件，该按压部件将研磨件按压到所述基板，从而对该基板进行研磨；按压力控制机构，该按压力控制机构对所述按压部件的按压力进行控制；以及研磨位置限制机构，在所述基板的研磨进行的同时，该研磨位置限制机构对所述按压部件的下降移动进行限制。
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