[发明专利]用于高效钝化硅太阳能电池的原位硅表面预清洗

摘要

本发明的实施方式一般涉及用于制造光生伏打装置的方法，以及更具体地涉及用于原位清洗太阳能电池基板的方法。在一个实施方式中，提供了一种制造太阳能电池装置的方法。所述方法包括以下步骤：将单结晶硅基板或多结晶硅基板暴露于湿法清洗工艺，以清洗所述结晶基板的表面，将所述结晶硅基板装载入具有真空环境的处理系统；在所述处理系统的所述真空环境中，将所述结晶硅基板的至少一个表面暴露于原位清洗工艺；以及在所述处理系统中，在所述结晶硅基板的至少一个表面上形成一或多个钝化层。

主权项

一种制造太阳能电池装置的方法，包括：将单结晶硅基板或多结晶硅基板暴露于湿法清洗工艺，以清洗所述结晶硅基板的表面；将所述结晶硅基板装载入具有真空环境的处理系统；在所述处理系统的所述真空环境中，将所述结晶硅基板的至少一个表面暴露于原位清洗工艺；以及在所述处理系统的所述真空环境中，在所述结晶硅基板的所述至少一个表面上形成一或多个钝化层。