[发明专利]一种在线可控式光学元件刻蚀装置

摘要

一种在线可控式光学元件刻蚀装置，涉及光学元件刻蚀装置。设有缓冲液存储容器、刻蚀反应发生装置、伺服电机、密封盖、可旋转多功能夹具、在线浓度计、恒温箱；不同容器内装不同刻蚀溶液，容器下端通过导管与密封盖相连，导管直接通入刻蚀反应发生装置中，导管中部设有开关，伺服电机安装在密封盖中部，伺服电机与可旋转多功能夹具中轴相连；在线浓度计设在刻蚀反应发生装置外部下端，可旋转多功能夹具实现光学元件的固定及刻蚀液的搅拌；可旋转多功能夹具设有竖直中轴、四对横向分支，四对横向分支内设有光学元件定位槽，竖直中轴上设有四条分支槽；每对横向分支一端伸入分支槽内部，每对横向分支中的另一个横向分支沿分支槽上下移动。

主权项

一种在线可控式光学元件刻蚀装置，其特征在于设有缓冲液存储容器、刻蚀反应发生装置、伺服电机、密封盖、导管、可旋转多功能夹具、在线浓度计、恒温箱；不同的缓冲液存储容器内装不同的刻蚀溶液，缓冲液存储容器下端通过导管与密封盖相连，导管直接通入刻蚀反应发生装置中，导管中部设有开关，所述开关由计算机直接控制；伺服电机安装在密封盖中部，伺服电机与可旋转多功能夹具中轴相连；在线浓度计设在刻蚀反应发生装置外部下端，在线浓度计通过导线与计算机相连，刻蚀反应发生装置整体位于恒温箱中，由在线浓度计准确控制刻蚀反应发生装置内刻蚀液的浓度，可旋转多功能夹具实现光学元件的固定及刻蚀液的搅拌；可旋转多功能夹具设有竖直中轴、四对横向分支，四对横向分支均布在竖直中轴四周，四对横向分支内设有光学元件定位槽，竖直中轴上设有四条分支槽；每对横向分支一端伸入分支槽内部，并由可伸缩弹性圈相互固定，每对横向分支中的一个横向分支固定于分支槽底部，每对横向分支中的另一个横向分支沿分支槽上下移动。