[发明专利]功率器件

摘要

本发明提供一种功率器件，包括外延层、位于所述外延层中的器件区和位于所述器件区外围的终端结构；其中，所述终端结构包括位于所述器件区的外围，且位于所述外延层的表面内的变掺杂环区，所述变掺杂环区的导电类型与所述外延层的导电类型相反，所述变掺杂环区的掺杂浓度从其靠近所述器件区的区域向其外围区域递减；覆盖所述变掺杂环区的掺杂浓度发生变化的区域表面的场氧化层；覆盖所述场氧化层表面的第一介质层；位于所述第一介质层表面上的至少一个第一金属层，所述第一金属层分别位于所述变掺杂环区的掺杂浓度发生变化的区域上方。本发明提供的功率器件，能改善浓度变化区域的电场分布，提高器件耐压性能。

主权项

一种功率器件，其特征在于，包括：外延层、位于所述外延层中的器件区和位于所述器件区外围的终端结构；其中，所述终端结构包括：位于所述器件区的外围，且位于所述外延层的表面内的变掺杂环区，所述变掺杂环区的导电类型与所述外延层的导电类型相反，所述变掺杂环区的掺杂浓度从其靠近所述器件区的区域向其外围区域递减；覆盖所述变掺杂环区的掺杂浓度发生变化的区域表面的场氧化层；覆盖所述场氧化层表面的第一介质层；位于所述第一介质层表面上的至少一个第一金属层，所述第一金属层分别位于所述变掺杂环区的掺杂浓度发生变化的区域上方；所述终端结构还包括：覆盖所述器件区的边缘区域表面的第二介质层，所述第一介质层位于所述第二介质层的外围且未与所述第二介质层接触，且所述第二介质层和所述场氧化层未接触；位于所述外延层的表面上，填充在所述第一介质层和所述第二介质层之间的第二金属层；位于所述第一介质层的外围，覆盖所述外延层表面的第三介质层，所述第三介质层未与所述第一介质层接触；位于所述外延层的表面上，填充在所述第一介质层和所述第三介质层之间的第三金属层。