[发明专利]一种大功率离子源稳定长脉冲运行方法

摘要

本发明公开了一种大功率离子源稳定长脉冲运行方法，利用大功率离子源引出束电流大小的信号，和预设的阈值信号进行比较，利用实时信号比较处理单元计算输出控制信号，通过离子源运行控制单元进行实时调节离子源的运行，达到维持离子源引出束电流基本不变，达到大功率离子源稳定长脉冲运行的目的。

主权项

一种大功率离子源稳定长脉冲运行方法，其特征在于：根据大功率离子源的工作原理，利用电流信号测量器件实时测量离子源引出束电流信号，并将离子源引出束电流信号隔离处理后输出到信号比较处理单元；信号比较处理单元基于离子源的运行特点，根据引出束的电压预设阈值信号，将阈值信号与离子源引出束电流信号进行实时比较运算，输出控制信号至离子源运行控制单元；离子源运行控制单元实时响应信号比较处理单元输出的控制信号，实时调节离子源起弧运行的输入初始参数，进而调节离子源等离子体的产生，以维持离子源引出束电流的大小不变，达到大功率离子源稳定长脉冲运行的目的。