[发明专利]一种微型高性能正交硅波导结构

摘要

本发明提供了一种微型高性能正交硅波导结构，采用正交交叉的波导结构，波导的组成材料为硅。在波导结构的内部、四个正交交叉口处分别设有棱镜结构，棱镜结构的折射率低于组成波导的基底材料。进一步地，在波导结构的正交交叉点的四个外角处加设有修饰结构，其厚度与波导的厚度一致；所述修饰结构由两个形状相同的微结构拼接而成，两个微结构拼接后沿着正交交叉外角的对角线成镜面对称。当基模在波导内传播时，本发明的结构可以保持小于0.2dB的损耗，同时可以维持很低的串扰损耗和反射损耗，其值分别为小于‑35dB和小于‑30dB。本发明的另一个很重要的优点是结构的几何尺寸很小，整个设计的交叉结构尺寸仅约为1×1um2。

主权项

一种微型高性能正交硅波导结构，采用正交交叉的波导结构，波导的组成材料为硅，其特征在于，在波导结构的内部、四个正交交叉口处分别设有凸透镜结构，凸透镜结构的折射率为1，低于波导材料的折射率；在波导结构的正交交叉点的四个外角处加设有修饰结构，其厚度与波导的厚度一致；所述修饰结构由两个形状相同的三角形微结构拼接而成，两个微结构拼接后沿着正交交叉外角的对角线成镜面对称；所述修饰结构的外边长C1为260nm，斜边中点到边长的垂直距离C2为90nm。