[发明专利]一种适用于MEMS应用的高精度振荡器结构

摘要

本发明提出了一种适用于MEMS应用的高精度振荡器结构，根据本发明制作的高精度振荡器结构，采用恒定电流充放电的结构来设计振荡器，使其对电源电压变化不敏感；为振荡器设计了一个恒定电流源，该电流源产生的电流在一定的温度范围内保持恒定，且与电源电压无关。

主权项

1.一种适用于MEMS应用的高精度振荡器结构，包括：基准电压产生模块、基准电流产生模块和时钟信号产生模块；所述基准电压产生模块与所述时钟信号产生模块相连，用以提供与电源电压和温度无关的基准电压VREF；所述基准电流产生模块与所述时钟信号产生模块相连；用以提供稳定的与电源电压和温度无关的基准电流IREF；所述时钟信号产生模块包括分压电路、比较器电路、振荡电路和D触发器电路；所述分压电路的输入端与所述基准电压产生模块相连，所述分压电路的输出端与所述比较器电路的第一输入端相连；所述比较器电路的输出端和与所述D触发器电路相连；所述振荡电路的输入端与所述基准电流产生模块相连，所述振荡电路的输出端与所述比较器电路的第二输入端相连；其中，所述基准电流产生模块包括：第一电压输入端、第二电压输入端、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第四运算放大器、第五运算放大器、MOS管、电流镜电路、电流输出端，所述第一电压输入端输入温度系数可调的电压Vbe2，所述第二电压输入端输入与电源电压和温度无关的基准电压VREF，通过所述第一电压输入端输入的温度系数可调的电压Vbe2、所述第五电阻、所述第六电阻、所述第四运算放大器产生任意温度系数和极性的电压VC，通过调整所述第五电阻、所述第六电阻的比值得到一个温度系数和极性与第七电阻匹配的电压Vc，通过与所述电压VC相同极性和温度系数的所述第七电阻来得到与电源电压和温度无关的基准电流IREF。